Описание
Тетракис(этилметиламино)цирконий, Zr[N(CH₃)(C₂H₅)]₄, в отраслевом обиходе TEMAZ, — металлоорганический амид циркония(IV). Светло-жёлтая жидкость, летучая при пониженном давлении, крайне чувствительная к влаге. Основной прекурсор для атомно-слоевого и химического осаждения из газовой фазы плёнок оксида и нитрида циркония. Поставляется в том числе в 50-мл баллонах Swagelok для установок CVD/ALD.
Основные атрибуты
- CAS №: 175923-04-3
- Химическая формула: C12H32N4Zr
- Молекулярный вес: 323,63
- Точная масса: 322,16700
- PSA: 12,96000
- XLogP3: 1,60960
- Внешний вид: светло-жёлтая жидкость
- Плотность: 1,049 г/мл при 25 °C (литературные данные)
- Температура кипения: 81 °C при 0,1 мм рт. ст.
- Температура вспышки: 50 °F (10 °C)
- Товарные квалификации: 99 %, 99,999 %; фасовка в 50-мл баллонах Swagelok для CVD/ALD
Механизм работы в процессе осаждения
Связи Zr–N в амидных прекурсорах реакционноспособны и легко разрываются водой, озоном или кислородной плазмой. В цикле атомно-слоевого осаждения молекула сначала хемосорбируется на поверхности подложки, отдавая часть лигандов, затем окислитель убирает остаток органики и достраивает кислородную решётку. Один цикл даёт долю монослоя, толщина плёнки задаётся числом циклов. Тот же прекурсор с азотсодержащим реагентом даёт нитрид циркония.
Область применения
- Прекурсор ALD и CVD плёнок диоксида циркония ZrO₂ — материала с высокой диэлектрической проницаемостью (high-k)
- Формирование конденсаторных диэлектриков в DRAM и подзатворных диэлектриков в логических микросхемах
- Осаждение нитрида циркония
- Барьерные, износостойкие и оптические покрытия на основе циркониевых слоёв
- Источник циркония в металлоорганическом синтезе
Информация по технике безопасности
- Указания по опасности: H225 — легковоспламеняющаяся жидкость и пар; H261 — при контакте с водой выделяет легковоспламеняющиеся газы; H315 — раздражение кожи; H319 — серьёзное раздражение глаз; H335 — может вызвать раздражение дыхательных путей
- Меры предосторожности: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- Классификация СГС, сигнальное слово «Опасность»: H225 (98,53 %) — легковоспламеняющаяся жидкость
- Полный перечень предписаний по классификации СГС: P210, P231 + P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P264, P271, P280, P301 + P330 + P331, P302 + P352, P303 + P361 + P353, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P310, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P363, P370 + P378, P402 + P404, P403 + P233, P403 + P235, P405, P501
- Основание классификации: агрегированные данные СГС от 68 компаний по 6 уведомлениям в реестр C и L ECHA; одно уведомление может относиться к нескольким компаниям
- Группа упаковки: II
- Категория опасности: 4.3
- Транспортные коды: ООН 3398, класс 4.3, группа упаковки II
- WGK Германия: 3
- Код класса опасности: 11-14-36/37/38-14/15
- Инструкции по технике безопасности: 16-26-36
- Метки: F, Xi
Хранение и обращение
Ключевые ограничения — вспышка при 10 °C и реакция с водой. Класс 4.3 означает, что при контакте с влагой выделяются легковоспламеняющиеся газы, поэтому предписание P422 требует хранения под инертным газом. Баллон держат закрытым, линии подачи осушают, тушение водой запрещено. Хранение вдали от источников зажигания, в прохладном вентилируемом помещении. Работы — в перчаточном боксе или на герметичной линии, с перчатками и защитой глаз.
Basic Attributes
323.63
322.16700
Characteristics
12.96000
1.60960
light yellow liquid
1.049 g/mL at 25ºC(lit.)
81 °C0.1 mm Hg(lit.)
50 °F
Safety Information
II
4.3
UN 3398 4.3/PG 2
3
11-14-36/37/38-14/15
16-26-36
F,Xi
P210-P231 + P232-P261-P305 + P351 + P338-P422
H225-H261-H315-H319-H335
|Danger|H225 (98.53%): Highly Flammable liquid and vapor [Danger Flammable liquids]|P210, P231+P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P264, P271, P280, P301+P330+P331, P302+P352, P303+P361+P353, P304+P340, P305+P351+P338, P310, P312, P321, P332+P313, P337+P313, P362, P363, P370+P378, P402+P404, P403+P233, P403+P235, P405, and P501|Aggregated GHS information provided by 68 companies from 6 notifications to the ECHA C&L Inventory. Each notification may be associated with multiple companies.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. ТЕТРАКИС(ЭТИЛМЕТИЛАМИНО) ЦИРКОНИЙ от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |
